Системы МЛЭ

Системы молекулярно-лучевой эпитаксии

Камера загрузки образцов (10E-5 Па).  Камера МЛЭ (10E-8 Па).

Многоосевой манипулятор.

Нагрев образца, контроллер температуры.  Различные маски (по техническому заданию).  K-ячейки.

Электронно-лучевые испарители (EB).

Дифракция отраженных быстрых электронов ДОБЭ (RHEED).

Вакуумные насосы и датчики (манометры).  Клапаны (ручные, моторизованные).

Высоковакуумные шиберные затворы.