EM8000

Сканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки

EM8000 - это серия первых сканирующих электронных микроскопов с катодом Шоттки, которая была запущена в 2014 году в Китае и получила ряд положительных отзывов на рынке, особенно от университетских заказчиков.

Многоязычная операционная система, встроенная панель дистанционного управления с трекболом, комплексный план послепродажного обслуживания с пожизненной технической поддержкой.

Особенности

◆ Высокоэффективная электронная пушка с полевой эмиссией с катодом Шоттки, хорошая монохромность, тонкий электронный пучок;

◆ Отличная яркость и высокое разрешение при низком ускоряющем напряжении;

◆ Возможность исследования непроводящих образцов при низком ускоряющем напряжении без напыления золотом;

◆ Стабильный электронный пучок, что дает возможность длительной работы;

◆ Низкое энергопотребление;

◆ Доступен режим низкого вакуума;

◆ Простой и удобный интерфейс управления;

◆ Подходит для многомодульного встраивания и межсистемного соединения, удовлетворяя индивидуальным потребностям пользователей;

◆ Прост в эксплуатации, прост в обслуживании, экономичен, а его производительность намного выше, чем у обычного электронного сканирующего микроскопа с вольфрамовым катодом;

◆ Длительный срок службы, два года работы без ремонта.

Область применения

Аккумуляторы, полупроводники, композиционные материалы, полимеры, животные и растения, микроорганизмы, порошковая металлургия, полезные ископаемые, металлургическая промышленность, строительные материалы, химические материалы, керамические материалы.

Размеры

Электронно-оптическая колонна: 800×800×1480 (мм)

Блок электроники и управляющий компьютер: 1340×850×740 (мм)

Модификации

EBL (система электронно-лучевой литографии), STM (сканирующий туннельный микроскоп), АFМ (атомно силовой мкроскоп), столик для нагрева, крио столик, столик для растяжения, наноманипулятор, ручной блок управления, трекбол, SEM+система напыления, SEM+лазер.

Дополнительные аксессуары

EDS (рентгеновский детектор энергодисперсионной спектроскопии), EBSD (детектор дифракции обратно рассеянных электронов), CL (катодолюминесцентный детектор), WDS (система волнодисперсионного анализа), система напыления, столик для крупногабаритных образцов

Технические характеристики

Разрешение	1,5 нм при 15 кВ (SE) 3 нм при 30 кВ (BSE)
Увеличение	8X ~ 1600000X
Электронная пушка	Электронная пушка с полевой эмиссией с катодом Шоттки
Ускоряющее напряжение	0,02 ~ 30 Кв
Система линз	Многоступенчатая высокоэффективная система конических линз
Столик для образцов	Пятиосевой полностью автоматизированный столик для образцов
Диапазон перемещений X	0 ~ 80 мм
Y	0 ~ 50 мм
Z	0 ~ 30 мм
R	360°
T	-5° ~ 70°
Максимальный диаметр образца	175 мм
Детекторы	Высоковакуумный детектор вторичных электронов (SE) (с функцией защиты детектора) Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратного рассеяния электронов (BSE)
Модификации	EBL (система электронно-лучевой литографии), STM (сканирующий туннельный микроскоп), АFМ (атомно силовой мкроскоп), столик для нагрева, крио столик, столик для растяжения, наноманипулятор, ручной блок управления, трекбол, SEM+система напыления, SEM+лазер
Дополнительные аксессуары	EDS (рентгеновский детектор энергодисперсионной спектроскопии), EBSD (детектор дифракции обратно рассеянных электронов), CL (катодолюминесцентный детектор), WDS (система волнодисперсионного анализа), система напыления, столик для крупногабаритных образцов
Вакуумная система	Ионный насос, турбомолекулярный насос, ротационный насос

Примеры снимков