EM6900 LV

Сканирующий электронный микроскоп с режимом низкого вакуума

Уникальная кострукция сканирующего электронного микроскопа EM6900 LV позволяет создавать атмосферу низкого вакуума в камере для образцов, эффективно снижая накопленный заряд.

Многоязычная операционная система, встроенная панель управления, возможность для пользователя управлять прибором с помощью мыши и клавиатуры, комплексный план послепродажного обслуживания с пожизненной технической поддержкой.

Особенности

◆ Высокое разрешение позволяющее проводить микроморфологические испытания большинства образцов, особенно подходит для образцов, на которые неудобно наносить проводящую пленку;

◆ Функция низкого вакуума;

◆ Предварительно центрированный катод из вольфрамовой нити открытого типа, дополнительная шестигранная нить накала;

◆ Отличное качество изображения, четкие детали и большая глубина резкости;

◆ Простота в эксплуатации, низкий уровень отказов, подходит для испытания нескольких образцов;

◆ Автоматические функции: нагрев электронной пушки, смещение, центрирование, фокусировка, яркость, контрастность, рассеивание, память рассеивания изображения и т.д;

◆ Автоматическая коррекция, автоматическое обнаружение неисправностей.

Область применения

Чувствительные образцы, такие как животные и растения, микроорганизмы, полупроводники и т.д.

Размеры

Электронно-оптическая колонна: 800×800×1850 (мм)

Блок электроники и управляющий компьютер: 1340×850×740 (мм)

Модификации

EBL (система электронно-лучевой литографии), столик для нагрева, крио столик, столик для растяжения, наноманипулятор.

Дополнительные детекторы

EDS (рентгеновский детектор энергодисперсионной спектроскопии), EBSD (детектор дифракции обратно рассеянных электронов), CL (катодолюминесцентный детектор)

Технические характеристики

Разрешение	3 нм при 30 кВ (SE, high vacuum) 6 нм при 30 кВ (BSE, high and low vacuum)
Увеличение	Инвертированное увеличение: 6X ~ 300000X Отображаемое увеличение: определяется размером дисплея 127 мм*211 мм
Электронная пушка	Вольфрамовый катод с подогревом - Предварительно центрированный картридж с вольфрамовой нитью
Ускоряющее напряжение	0 ~ 30 Кв (регулируется плавно, шаг 0-10 кВ равен 100 В, а шаг выше 10 кВ равен 1 кВ)
Система линз	Трехуровневая электромагнитная линза (коническая линза)
Диафрагма объектива	Молибденовая диафрагма, регулируемая внешней вакуумной системой
Столик для образцов	Четырехосевой столик для образцов
Диапазон перемещений X (авто)	0 ~ 70 мм
Y (авто)	0 ~ 50 мм
Z (авто)	0 ~ 45 мм
R (авто)	360°
T (вручную)	-5° ~ 90°
Максимальный диаметр образца	175 мм
Максимальная высота образца	35 мм
Детекторы	Высоковакуумный детектор вторичных электронов (SE) (с функцией защиты детектора) Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратного рассеяния электронов (BSE) CCD (ПЗС - прибор с зарядовой связью)
Модификации	EBL (система электронно-лучевой литографии), столик для нагрева, крио столик, столик для растяжения, наноманипулятор
Дополнительные аксессуары	EDS (рентгеновский детектор энергодисперсионной спектроскопии), EBSD (детектор дифракции обратно рассеянных электронов), CL (катодолюминесцентный детектор)
Вакуумная система	Турбомолекулярный насос, ротационный насос
Режим низкого вакуума	10~270 Па, плавная регулировка; время переключения вакуума менее 90 секунд

Примеры снимков