Многофункциональный сканирующий электронный микроскоп
Стандартный EM6900 имеет максимальное разрешение, которое возможно получить используя сканирующие электронные микроскопы с вольфрамовой нитью, а также имеет в комплекте детектор вторичных электронов и детектор обратно рассеянных электронов (SE + BSE).
Многоязычная операционная система, встроенная панель управления, возможность для пользователя управлять прибором с помощью мыши и клавиатуры, комплексный план послепродажного обслуживания с пожизненной технической поддержкой.
Особенности
◆ Высокое разрешение позволяющее проводить микроморфологические испытания большинства образцов;
◆ Отличное качество изображения, четкие детали и большая глубина резкости;
◆ Множество схем модификации;
◆ Предварительно центрированный катод из вольфрамовой нити открытого типа;
◆ Возможность использования модернизированного катода из гексаборида лантана (LaB6);
◆ Большой столик для образцов;
◆ Камера для образцов может быть расширена с помощью нескольких интерфейсов для проведения многих тестов на месте и многофункционального встраивания;
◆ Полный набор автоматизированного программного обеспечения;
◆ Автоматические функции: нагрев электронной пушки, смещение, центрирование, фокусировка, яркость, контрастность, рассеивание, память рассеивания изображения и т.д.;
◆ Автоматическая коррекция, автоматическое обнаружение неисправностей;
◆ Низкие затраты на техническое обслуживание и ремонт.
Область применения
Аккумуляторные материалы, полупроводники, композиционные материалы, полимеры, животные и растения, микроорганизмы, порошковая металлургия, полезные ископаемые, металлургическая промышленность, строительные материалы, химические материалы, керамические материалы.
Размеры
Электронно-оптическая колонна: 800×800×1850 (мм)
Блок электроники и управляющий компьютер: 1340×850×740 (мм)
Модификации
EBL (система электронно-лучевой литографии), STM (сканирующий туннельный микроскоп), АFМ (атомно силовой мкроскоп), столик для нагрева, крио столик, столик для растяжения, наноманипулятор, SEM+система напыления, SEM+лазер.
Дополнительные аксессуары
Катод из гексаборида лантана (LaB6), EDS (рентгеновский детектор энергодисперсионной спектроскопии), EBSD (детектор дифракции обратно рассеянных электронов), CL (катодолюминесцентный детектор), WDS (система волнодисперсионного анализа), система напыления.
Технические характеристики
Разрешение |
3 нм при 30 кВ (SE) 6 нм при 30 кВ (BSE) |
Увеличение |
Инвертированное увеличение: 6X ~ 300000X Экранное увеличение: 12X ~600000X |
Электронная пушка |
Вольфрамовый катод с подогревом - Предварительно центрированный картридж с вольфрамовой нитью |
Ускоряющее напряжение |
0 ~ 30 Кв |
Система линз |
Трехуровневая электромагнитная линза (коническая линза) |
Диафрагма объектива |
Молибденовая диафрагма, регулируемая внешней вакуумной системой |
Столик для образцов |
Пятиосевой столик для образцов |
Диапазон перемещений X (авто) |
0 ~ 80 мм |
Y (авто) |
0 ~ 60 мм |
Z (вручную) |
0 ~ 50 мм |
R (вручную) |
360° |
T (вручную) |
-5° ~ 90° |
Максимальный диаметр образца |
175 мм |
Детекторы | Высоковакуумный детектор вторичных электронов (SE)
Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратного рассеяния электронов (BSE) CCD (ПЗС - прибор с зарядовой связью) |
Модификации |
EBL (система электронно-лучевой литографии), STM (сканирующий туннельный микроскоп), АFМ (атомно силовой мкроскоп), столик для нагрева, крио столик, столик для растяжения, наноманипулятор, SEM+система напыления, SEM+лазер |
Дополнительные аксессуары |
Катод из гексаборида лантана (LaB6), EDS (рентгеновский детектор энергодисперсионной спектроскопии), EBSD (детектор дифракции обратно рассеянных электронов), CL (катодолюминесцентный детектор), WDS (система волнодисперсионного анализа), система напыления |
Вакуумная система |
Турбомолекулярный насос, ротационный насос |
Примеры снимков