EM6900

Многофункциональный сканирующий электронный микроскоп

Стандартный EM6900 имеет максимальное разрешение, которое возможно получить используя сканирующие электронные микроскопы с вольфрамовой нитью, а также имеет в комплекте детектор вторичных электронов и детектор обратно рассеянных электронов (SE + BSE).

Многоязычная операционная система, встроенная панель управления, возможность для пользователя управлять прибором с помощью мыши и клавиатуры, комплексный план послепродажного обслуживания с пожизненной технической поддержкой.

Особенности

◆ Высокое разрешение позволяющее проводить микроморфологические испытания большинства образцов;

◆ Отличное качество изображения, четкие детали и большая глубина резкости;

◆ Множество схем модификации;

◆ Предварительно центрированный катод из вольфрамовой нити открытого типа;

◆ Возможность использования модернизированного катода из гексаборида лантана (LaB6);

◆ Большой столик для образцов;

◆ Камера для образцов может быть расширена с помощью нескольких интерфейсов для проведения многих тестов на месте и многофункционального встраивания;

◆ Полный набор автоматизированного программного обеспечения;

◆ Автоматические функции: нагрев электронной пушки, смещение, центрирование, фокусировка, яркость, контрастность, рассеивание, память рассеивания изображения и т.д.;

◆ Автоматическая коррекция, автоматическое обнаружение неисправностей;

◆ Низкие затраты на техническое обслуживание и ремонт.

Область применения

Аккумуляторные материалы, полупроводники, композиционные материалы, полимеры, животные и растения, микроорганизмы, порошковая металлургия, полезные ископаемые, металлургическая промышленность, строительные материалы, химические материалы, керамические материалы.

Размеры

Электронно-оптическая колонна: 800×800×1850 (мм)

Блок электроники и управляющий компьютер: 1340×850×740 (мм)

Модификации

EBL (система электронно-лучевой литографии), STM (сканирующий туннельный микроскоп), АFМ (атомно силовой мкроскоп), столик для нагрева, крио столик, столик для растяжения, наноманипулятор, SEM+система напыления, SEM+лазер.

Дополнительные аксессуары

Катод из гексаборида лантана (LaB6), EDS (рентгеновский детектор энергодисперсионной спектроскопии), EBSD (детектор дифракции обратно рассеянных электронов), CL (катодолюминесцентный детектор), WDS (система волнодисперсионного анализа), система напыления.

Технические характеристики

Разрешение	3 нм при 30 кВ (SE) 6 нм при 30 кВ (BSE)
Увеличение	Инвертированное увеличение: 6X ~ 300000X Экранное увеличение: 12X ~600000X
Электронная пушка	Вольфрамовый катод с подогревом - Предварительно центрированный картридж с вольфрамовой нитью
Ускоряющее напряжение	0 ~ 30 Кв
Система линз	Трехуровневая электромагнитная линза (коническая линза)
Диафрагма объектива	Молибденовая диафрагма, регулируемая внешней вакуумной системой
Столик для образцов	Пятиосевой столик для образцов
Диапазон перемещений X (авто)	0 ~ 80 мм
Y (авто)	0 ~ 60 мм
Z (вручную)	0 ~ 50 мм
R (вручную)	360°
T (вручную)	-5° ~ 90°
Максимальный диаметр образца	175 мм
Детекторы	Высоковакуумный детектор вторичных электронов (SE) Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратного рассеяния электронов (BSE) CCD (ПЗС - прибор с зарядовой связью)
Модификации	EBL (система электронно-лучевой литографии), STM (сканирующий туннельный микроскоп), АFМ (атомно силовой мкроскоп), столик для нагрева, крио столик, столик для растяжения, наноманипулятор, SEM+система напыления, SEM+лазер
Дополнительные аксессуары	Катод из гексаборида лантана (LaB6), EDS (рентгеновский детектор энергодисперсионной спектроскопии), EBSD (детектор дифракции обратно рассеянных электронов), CL (катодолюминесцентный детектор), WDS (система волнодисперсионного анализа), система напыления
Вакуумная система	Турбомолекулярный насос, ротационный насос

Примеры снимков