SEM3200

Сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовым катодом SEM3200

SEM3200 это высокопроизводительный сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) с вольфрамовым катодом. Позволяет работать в режиме низкого вакуума и получать отличные изображения высокого разрешения в различных режимах наблюдения. Имеет большую глубину резкости и дает объемное  стереоизображение

 

 

 

Расширенная масштабируемость и функциональность

SE\BSE\EDS\EBSD и т.д.

 

Оптическая навигация 

Быстрое определение местоположения целевых образцов и интересующих участков

 

*Сшивка больших изображений

Построение больших карт изображений с помощью программной сшивки маленьких участков

 

Совмещение изображений полученных во вторичных электронах (secondary electrons) и обратно рассеянных электронах (back scattered electrons) (SE+BSE) 

Наблюдение состава и поверхности образца на одном изображении

 

*Структура с двойным анодом

Улучшение разрешения и качества изображения при низких ускоряющих напряжениях

 

*Режим низкого вакуума

Получение детализации поверхности и морфологии образца в условиях низкого вакуума, переключение уровня вакуума одним щелчком мыши.

 

(*опционально)

 

Особенности (*опционально)

Низкое напряжение

Образцы из углеродного материала с небольшой глубиной проникновения при низком напряжении. Реальную форму поверхности образца можно получить с большей детализацией.

  

 

Повреждение образца (человеческий волос) от облучения электронным пучком уменьшается при низком напряжении, что снижает эффект накопления заряда на поверхности образца.

  

 

Низкий вакуум

Фильтрующие трубчатые материалы обладают плохой проводимостью и высокой способностью накапливать заряд в условиях высокого вакуума. В условиях низкого вакуума прямое наблюдение за непроводящими образцами может быть достигнуто без нанесения проводящих покрытий. 

  

 

Большое поле зрения

Для наблюдения за биологическими образцами используется большое поле зрения, что позволяет легко получить общую морфологию и детальное строение головы божьих коровок, демонстрируя кроссмасштабный анализ.

  

 

 

Навигация и защита от столкновений

Оптическая навигация между образцами

Перемещение между образцами одним щелчком мыши.

Встроенная камера входит в стандартную комплектацию и может делать фотографии в формате HD, что помогает быстро находить образцы.

 

 

 

Быстрая навигация в пределах изображения

Осуществляется двойным щелчком мыши для перемещения между интересующими участками изображения, прокручиванием колесика мыши и выделением области для увеличения.

Пример: Масштабирование с помощью выделения - чтобы получить широкий обзор образца при навигации с малым увеличением можно быстро выделить интересующую область образца.

 

 

 

Защита от столкновений 

Многоуровневая система для предотвращения столкновений с образцом.

1. Ввод высоты образца вручную обеспечивает точный контроль расстояния между образцом и объективом.

2. Распознавание изображений и захват движения дает возможность следить за изображением в режиме реального времени.

3. *Использование специального аппаратного обеспечения позволяет остановить двигатель в момент столкновения.

 

 

 Функции

Умное рассеивание

Интуитивно отражает степень дисперсии всего поля зрения и быстро настраивает дисперсию на оптимальную с помощью щелчка мыши по участку с четким изображением.

  

 

Автофокусировка 

Фокусировка одним щелчком мыши для быстрого получения четкого изображения.

  

 

Автоматическое рассеивание

Рассеивание одним щелчком мыши для повышения эффективности работы.

  

 

Автоматическая контрастность и яркость

Включение автоматической контрастности и яркости одним щелчком мыши позволяет настроить соответствующие изображения в оттенках серого.

  

 

Одновременное отображение нескольких видов данных 

Программное обеспечение SEM3200 поддерживает переключение между SE и BSE режимами одним щелчком мыши для получения смешанных изображений. Одновременно можно получить как морфологическую информацию об образце, так и информацию о составе образца.

     

 

Быстрая регулировка поворота изображения 

  

 

Расширенная масштабируемость

Сканирующий электронный микроскоп используется не только для изучения морфологии, но и для анализа состава микровключений на поверхности образца.

SEM3200 имеет большую камеру для образцов с удобным пользовательским интерфейсом. В дополнение к детектору Эверхарта-Торнли (ETD), детектору обратно рассеянных электронов (BSE) и энергодисперсионному спектрометру (EDS), предусмотрены фланцы для подключения детектора дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD), детектора катодолюминесцентного излучения (CL) и других детекторов.

Детектор обратно рассеянных электронов (BSE)

Сравнение изображений полученных во вторичных электронах и изображений в обратно рассеянных электронах.

В режиме визуализации обратно рассеянных электронов эффект заряда значительно уменьшается и можно получить больше информации о составе поверхности образца.

Покрытие образцов: 

  

Образцы сплава вольфрамовой стали:

  

 

Четырехсегментный детектор обратно рассеянных электронов - многоканальная визуализация

Детектор имеет компактную конструкцию и высокую чувствительность. Четырехсегментная конструкция позволяет получать изображения разной контрастности, а также изображения распределения состава без наклона образца.

Четыре одноканальных изображения:

      

Смешанное изображение:

 

Энергетический спектр

Результаты анализа энергетического спектра светодиодных маленьких шариков.

 

Дифракция обратно рассеянных электронов (EBSD) (ДОРЭ) 

Электронный микроскоп с вольфрамовым катодом и большим током пучка электронов полностью отвечает требованиям к проведению исследований методом EBSD с высоким разрешением и способен анализировать поликристаллические материалы, такие как металлы, керамику и минералы, для калибровки ориентации кристаллов и размера зерен.

На рисунке показана обратная полюсная фигура образца металлического Ni, полученная в режиме EBSD, которая позволяет определить размер и ориентацию зерен, границы зерен и двойников, а также сделать точные выводы об организации и структуре материала.

 

 

Применение (примеры снимков)  

Характеристики

 Разрешение     

Высокий вакуум: 3 нм при 30 кВ (SE), 4 нм при 30 кВ (BSE), 8 нм при 3 кВ (SE)

Низкий вакуум (опционально): 3 нм при 30 кВ (BSE)

Увеличение

 1X ~ 300000X (увеличение кадра)

 1X ~ 1000000X (увеличение экрана)

Электронная пушка

Предварительно выравненный вольфрамовый катод среднего размера

Ускоряющее напряжение

0,2 ~ 30 Кв

Сила тока

≥1.2 мкA, дисплей в реальном времени

Детектор

Детектор вторичных электронов (ETD) 

Опционально: Детектор обратно рассеянных электронов (BSED), детектор вторичных электронов для режима низкого вакуума, энергетический спектрометр EDS, и др.

Формат изображения

TIFF, JPG, BMP, PNG

Высокий вакуум

Больше чем 5×10-4 Па

Низкий вакуум

5 ~ 1000 Па

Режим управления

Полностью автоматизированная система управления

Камера для образцов

Оптическая навигация, мониторинг в камере для образцов

Столик для образцов

Трехосный автоматический, пятиосный автоматический

Диапазон перемещений

Для трехосного: X: 120 мм, Y: 120 мм, Z: 50 мм

Для пятиосного: X: 120 мм, Y: 115 мм, Z: 50 мм, R: 360°, T: -10° ~ +90°

Операционная система

Windows

Навигация

Оптическая навигация, быстрая навигация

Автоматические функции

Автоматическая яркость и контрастность, автофокус, автоматическое рассеивание

Специальные функции

Умное рассеивание

Опционально: сшивка крупномасштабных изображений

Размеры пространства для установки

L ≥ 3000 мм, W ≥ 4000 мм, H ≥ 2300 мм

Температура в помещении

20°C (68°F) ~ 25°C (77°F) 

 Влажность в помещении

≤ 50 % 

 Источник питания  AC 220 В(±10 %), 50 Гц, 2 кВA