Источник ультрафиолетового излучения
Сканирующий ионный источник
Электронная пушка (дифракция отраженных быстрых электронов - ДОБЭ)
Ионный аргоновый источник
Электронно-лучевые испарители
Термический испаритель многотигельный
Высокотемпературные эффузионные ячейки
