Электронно-лучевые испарители
Метод нагрева: электронный пучок
Нагревательный элемент: W, Ta
Ускоряющее напряжение 0-1200 В
Ток эмиссии 0-200 мА
Максимальная мощность 250 Вт
Температура >2300℃
Материал тигля Mo
Объем тигля 3cc
Использование стержневых испарителей вместо тигля
Контур водяного охлаждения
Заслонка (ручной или пневмопривод)
Соединительный фланец ICF70
Автоматический контроль пучка
Температура отжига >200℃