Ионный аргоновый источник

Ионный аргоновый источник

Энергия пучка: 500, 1000, 1500, 2000 эВ (макс.).

Ток пучка: 10 мкА (макс.).

Размер пятна пучка: <10 мм.

Ток эмиссии: 0-50 мА.

Режим фокусировки.

Температура отжига: <200 °С.

Монтажный фланец: ICF70.