Источник ультрафиолетового излучения
Яркость: >3E13 фотон/с.
Разрешение: <1мэВ (на Xe).
Трехступенчатая дифференциальная система откачки.
Мощная система воздушного и водяного охлаждения.
Система ввода/вывода с линейной трансляцией до 75 мм.
Механизм наклона: ±3°.
Различные рабочие газы: He, Ne, Ar, Kr, Xe и т.д.
*опционально доступен монохроматический источник ультрафиолетового излучения.