Сканирующий ионный источник

Сканирующий ионный источник

Энергетический диапазон: от 200  до 5000 эВ (плавная регулировка).

Размер пятна пучка:

160 мкм; 125 мкм (опционально).  Плотность тока пучка:

от 1 до 4 мА/кв.см.

Диапазон сканирования:  10x10 кв.мм.

Рабочий отрезок ионного  источника:

от 23 до 100 мм; оптимальное

значение 23 мм.

Рабочее давление:

от 10Е-8 мбар до 10Е-7 мбар;  два порта диф.откачки DN16CF.  Температура отжига: <200 °С.

Монтажный фланец: DN 40CF.